Dreidimensionale elektrische Antastung für die Mikro- und Nanokoordinatenmesstechnik - 3-D-Tunnelstromtaster (3-D-Tunnelstromtaster)

Third party funded individual grant


Acronym: 3-D-Tunnelstromtaster

Start date : 01.01.2013

End date : 01.03.2017

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Usage

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Location

Erlangen
Nuremberg
Fürth
Bamberg
Nanomess- und positioniermaschine SIOS NMM-1 (SIOS) Lehrstuhl für Fertigungsmesstechnik (FMT)