Technologies and Processes for Hetero-Integration of Power Electronic Systems (MIIMOSYS)

Third Party Funds Group - Overall project


Acronym: MIIMOSYS

Start date : 01.08.2017

End date : 31.12.2020

Extension date: 30.09.2021

Website: https://www.elektronikforschung.de/projekte/miimosys


Project details

Scientific Abstract

Das Ziel des »MIIMOSYS«-Projekts ist die weltweit erstmalige Demonstration einer heterogenen on-chip Integration von GaN-Schaltelementen und einer Silizium-CMOS-Ansteuerelektronik auf Systemebene durch Mikro-Transferdruck (»micro-Transfer-Printing«, μTP). Die fortgeschrittene dreidimensionale Integration von leistungseffizienten GaN-Schaltelementen mit hochintegrierten Silizium-CMOS-Ansteuerschaltkreisen auf Waferlevel ermöglicht erstmalig die Kombination der Vorteile beider Halbleitermaterialien und -technologien auf einem Chip. 

Involved:

Funding Source