Focus distance modulated fibre-coupled confocal sensor for surface metrology (MoKoSens)

Third party funded individual grant


Acronym: MoKoSens

Start date : 01.05.2016

End date : 30.04.2019

Extension date: 30.11.2019

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Usage

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Location

Erlangen
Nuremberg
Fürth
Bamberg
Nanomess- und positioniermaschine SIOS NMM-1 (SIOS) Lehrstuhl für Fertigungsmesstechnik (FMT)