Atmosphärisches Plasmaspritzen zur Kupfermetallisierung leistungselektronischer Halbleiterbauelemente

Ockel M (2026)

Publication Type: Thesis

Publication year: 2026

Publisher: FAU University Press

City/Town: Erlangen

ISBN: 978-3-96147-913-9

DOI: 10.25593/978-3-96147-913-9

Authors with CRIS profile

Manuela Ockel Lehrstuhl für Fertigungsautomatisierung und Produktionssystematik (FAPS)

How to cite

APA:

Ockel, M. (2026). Atmosphärisches Plasmaspritzen zur Kupfermetallisierung leistungselektronischer Halbleiterbauelemente (Dissertation).

MLA:

Ockel, Manuela. Atmosphärisches Plasmaspritzen zur Kupfermetallisierung leistungselektronischer Halbleiterbauelemente. Dissertation, Erlangen: FAU University Press, 2026.

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