Neuhaus M, Götz M, Eßer G, Scherer T, Jutzi W (1998)
Publication Type: Conference contribution
Publication year: 1998
Publisher: DPG
Pages Range: 24.47
Conference Proceedings Title: Frühjahrstagung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft DPG
Event location: Regensburg
APA:
Neuhaus, M., Götz, M., Eßer, G., Scherer, T., & Jutzi, W. (1998). Planarisierung miniaturisierter Nb-Schaltungen durch chemisch-mechanisches Polieren(CMP). In Frühjahrstagung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft DPG (pp. 24.47). Regensburg: DPG.
MLA:
Neuhaus, M., et al. "Planarisierung miniaturisierter Nb-Schaltungen durch chemisch-mechanisches Polieren(CMP)." Proceedings of the Frühjahrstagung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft DPG, Regensburg DPG, 1998. 24.47.
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