Nichtthermische Mikrojustiertechnik mit Ultrakurzpulslasern
Bechtold P, Dirscherl M (2007)
Publication Type: Conference contribution
Publication year: 2007
Publisher: Meisenbach Verlag
Pages Range: 175-185
Conference Proceedings Title: Laser in der Elektronikproduktion und Feinwerktechnik - Tagungsband des Erlanger Seminars LEF 2007
Event location: Bremen
Additional Organisation(s)
How to cite
APA:
Bechtold, P., & Dirscherl, M. (2007). Nichtthermische Mikrojustiertechnik mit Ultrakurzpulslasern. In Geiger, M.; Schmidt, M. (Eds.), Laser in der Elektronikproduktion und Feinwerktechnik - Tagungsband des Erlanger Seminars LEF 2007 (pp. 175-185). Bremen, DE: Meisenbach Verlag.
MLA:
Bechtold, P., and Manfred Dirscherl. "Nichtthermische Mikrojustiertechnik mit Ultrakurzpulslasern." Proceedings of the Laser in der Elektronikproduktion und Feinwerktechnik - Tagungsband des Erlanger Seminars LEF 2007, Bremen Ed. Geiger, M.; Schmidt, M., Meisenbach Verlag, 2007. 175-185.
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