Otto A, Kickelhain J (2000)
Publication Type: Conference contribution
Publication year: 2000
Pages Range: 109-123
APA:
Otto, A., & Kickelhain, J. (2000). Simulation des Abtrags von Polyimi mit Excimerlasern. In Proceedings of the LEF 2000 (pp. 109-123).
MLA:
Otto, Andreas, and J. Kickelhain. "Simulation des Abtrags von Polyimi mit Excimerlasern." Proceedings of the LEF 2000 2000. 109-123.
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