Laseroptische Charakterisierung mikroakustischer Bauelemente

Holm A, Weigel R (1997)

Publication Type: Conference contribution

Publication year: 1997

Pages Range: 111-116

Conference Proceedings Title: Informationstagung Mikroelektronik

Event location: Wien, Österreich

ISBN: 978-3-85133-010-6

Authors with CRIS profile

Robert Weigel Lehrstuhl für Technische Elektronik

How to cite

APA:

Holm, A., & Weigel, R. (1997). Laseroptische Charakterisierung mikroakustischer Bauelemente. In Informationstagung Mikroelektronik (pp. 111-116). Wien, Österreich.

MLA:

Holm, Andreas, and Robert Weigel. "Laseroptische Charakterisierung mikroakustischer Bauelemente." Proceedings of the Informationstagung Mikroelektronik, Wien, Österreich 1997. 111-116.

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