Activity Development and Up-Scaling of the hot filament process for diamond CVD
Internally funded project
Start date :
01.01.2000
Project details
Short description
Research of hot-filament CVD technology constantly continues to provide new scientific developments that are transferred into economically functioning products. This business model enabled the establishment of the worldwide largest experimental CVD facility.
Development details:
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Upscaling of the hot-filament diamond surface area up to 10.000cm2.
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Flexible chamber set up to coat small (weight < 1 g) as well as large components (weight > 40 kg) via CVD.
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Reduction of energy input (electric power/carat) for hot-filament CVD.
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Homogenisation of diamond growth rate and boron doping for a 2D and 3D substrates.
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Reproducible substrate temperature ranging from 650 °C to 950 °C.
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Integration of heat treatment during the hot-filament process.
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Development of in-situ measurements, e.g. online measurement of diamond growth rate.
Scientific Abstract
Da eine Umsetzung der an Laboranlagen gewonnenen wissenschaftliche Erkenntnisse in technisch und ökonomisch funktionierende Produkte gerade im Bereich der Diamant-CVD an die passende Maschinentechnologie gebunden ist, entwickeln wir die vorhandene Hot-Filament CVD Technologie ständig weiter. So gelang der Bau einer Versuchsanlage mit der weltweit größten CVD-Diamant Beschichtungsfläche.
Entwicklungskenndaten:
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Hochskalierung der Hot-Filament Diamantbeschichtungsfläche auf bis zu 10.000 cm2.
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Flexible Kammer-Set-ups zur CVD Diamantbeschichtung von Kleinteilen (Stückgewicht < 1 g) bis zu großen Bauteilen (Stückgewicht > 40 kg).
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Reduzierung des Energieaufwandes (Elektrische Leistung pro Karat) für die Hot-Filament CVD.
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Homogenisierung von Diamantwachstumsrate und Bor-Dotierung für 2D- und 3D- Substrate.
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Reproduzierbar einstellbare Substrattemperaturen von 650 °C bis 950 °C.
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Integration von Wärmebehandlungsverfahren in den Hot-Filament Prozess.
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Entwicklung von in-situ Messtechnik z.B. online Messung der Diamantwachstumsrate.
Involved:
Contributing FAU Organisations:
Research Areas