Hexapod HXP200S (Newport Spectra-Physics GmbH)

Model: Hexapod HXP200S-MECA inkl. Controller

Manufacturer: Newport Spectra-Physics GmbH (2018)

Usage: FAU internal

Organisation(s):

Lehrstuhl für Fertigungsmesstechnik (FMT)

Involved Person(s):

Sebastian Metzner Responsible and Contact person

Pictures

Equipment picture

Feature(s)


Description

Der Hexapod Hexapod HXP200S der Firma Newport GmbH ist derzeit Teil eines Multisensoren-Messaufbaus zur Positionierung des Werkstückes innerhalb des Messbereichs der Einzelsensoren.

Max. Positionierweg (x,y,z): ± 35 mm, ± 40 mm, ± 25 mm

Wiederholgenauigkeit: 0,1 µm

Absolutpräzision im maximalen Verwahrweg (x,y,z): 6.4 µm, 7,7 µm, 4,0 µm















Debug: Alles

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Der Hexapod Hexapod HXP200S der Firma Newport GmbH ist derzeit Teil eines Multisensoren-Messaufbaus zur Positionierung des Werkstückes innerhalb des Messbereichs der Einzelsensoren.

Max. Positionierweg (x,y,z): ± 35 mm, ± 40 mm, ± 25 mm

Wiederholgenauigkeit: 0,1 µm

Absolutpräzision im maximalen Verwahrweg (x,y,z): 6.4 µm, 7,7 µm, 4,0 µm


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